深紫外熒光系統(tǒng)成像功能：熒光強度或光譜成像/熒光壽命成像/深紫外成像；激發(fā)波長：206nm/257nm/343nm/515nm。

更新時間：2024-12-04

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產(chǎn)品分類

熒光光譜系列

穩(wěn)態(tài)/瞬態(tài)熒光光譜系統(tǒng) 深紫外熒光系統(tǒng) 激光掃描共聚焦熒光成像系統(tǒng) 超快熒光光譜系統(tǒng)

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深紫外熒光系統(tǒng)主要技術指標：

典型參數(shù)

熒光壽命檢測波長	220-600nm
熒光光譜檢測波長	200-1000nm
時間分辨率	≤20 ps
空間分辨率	≤1 μs
成像功能	熒光強度或光譜成像/熒光壽命成像/深紫外成像
成像范圍	可定制
激發(fā)波長	206nm/257nm/343nm/515nm
拓展功能
拓展模塊	拉曼、SHG、光電流等成像模塊
外場調(diào)控	支持拓展低溫、高壓、磁場等外場條件

深紫外熒光系統(tǒng)應用實例：

晶圓位錯缺陷光學無損識別

實驗條件

樣品名稱

SiC外延片

激發(fā)光波長

390nm

深紫外熒光系統(tǒng)

大連創(chuàng)銳光譜科技有限公司基于自主創(chuàng)新的時間分辨光譜技術，致力于推動光譜技術在科研和工業(yè)領域的深入應用。在科研儀器領域，創(chuàng)銳光譜由一線專家?guī)ш?，是目前國?nèi)極少具備瞬態(tài)光譜獨立研發(fā)-生產(chǎn)-應用完整能力體系的團隊。創(chuàng)銳光譜以時間分辨光譜核心技術，超快瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)為核心產(chǎn)品，打破進口壟斷格局。主要產(chǎn)品包括瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)、共聚焦熒光成像系統(tǒng)、DPSS納秒激光器及高速探測器。在工業(yè)半導體檢測領域，公司以光譜技術創(chuàng)新為核心立足點，已迅速完成碳化硅襯底、外延、氮化鎵、鈣鈦礦電池等多領域布局。

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